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MDX 系列
等离子产生器直流电源体系
产物特色
低储能输入，灭弧时候可调
低纹波
松散型设想
电压、电流和功率调理形式
后面板和摹拟接口节制
产物描写
作为一款重载产业装备，MDX 系列首要用于须要完成靠得住、紧密电源输入的低功率利用。
紧密的调理、出色的灭弧机能和低储能输入，使 MDX 系列直流电源成为行业抢先者。这些靠得住耐用的电源合用于在真空情况中延续高强度的，遍及用作直流磁控溅射驱动。它们还供给紧密调理，作为 RF 溅射和蚀刻体系的偏压电源。该系列电源接纳松散型设想，是尝试室体系的首选
产物利用
Deposition
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